西安高純氮?dú)庵饕獞?yīng)用在哪些方面
發(fā)布日期：2019-09-30 關(guān)注次數(shù)：4483
西安高純氮?dú)?/a>主要運(yùn)用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
西安高純氮?dú)?/a>現(xiàn)場生產(chǎn)裝置采用低溫工藝流程，生產(chǎn)過程中將有冷量損失，有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置為此配備了氣體膨脹機(jī)產(chǎn)生低溫以補(bǔ)償冷量損失;有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置雖然采用的仍是低溫精餾流程，但摒棄了補(bǔ)償冷量的機(jī)械設(shè)備膨脹機(jī)，取而代之的是采用外部的液氮直接補(bǔ)償?shù)乃璧牡蜏睾俊?/span>
這種無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置因減少了機(jī)械故障而提高了裝置運(yùn)行的可靠性。無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置的液氮補(bǔ)充量約占高純氮?dú)猱a(chǎn)量的3%左右 整套高純氮?dú)猬F(xiàn)場生產(chǎn)裝置除了空氣壓縮機(jī)、熱部、冷箱之外，還有一個(gè)重要的部分即液氮(或高純液氮)系統(tǒng)。這個(gè)液氮(或高純液氮)系統(tǒng)有三個(gè)功能;可補(bǔ)償生產(chǎn)過程中的冷損;用氣量的調(diào)峰，氮?dú)馍a(chǎn)裝置停機(jī)是產(chǎn)品氣的備用。
西安高純氮?dú)?/a>現(xiàn)場生產(chǎn)裝置采用低溫工藝流程，生產(chǎn)過程中將有冷量損失，有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置為此配備了氣體膨脹機(jī)產(chǎn)生低溫以補(bǔ)償冷量損失;有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置雖然采用的仍是低溫精餾流程，但摒棄了補(bǔ)償冷量的機(jī)械設(shè)備膨脹機(jī)，取而代之的是采用外部的液氮直接補(bǔ)償?shù)乃璧牡蜏睾俊?/span>
這種無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置因減少了機(jī)械故障而提高了裝置運(yùn)行的可靠性。無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置的液氮補(bǔ)充量約占高純氮?dú)猱a(chǎn)量的3%左右 整套高純氮?dú)猬F(xiàn)場生產(chǎn)裝置除了空氣壓縮機(jī)、熱部、冷箱之外，還有一個(gè)重要的部分即液氮(或高純液氮)系統(tǒng)。這個(gè)液氮(或高純液氮)系統(tǒng)有三個(gè)功能;可補(bǔ)償生產(chǎn)過程中的冷損;用氣量的調(diào)峰，氮?dú)馍a(chǎn)裝置停機(jī)是產(chǎn)品氣的備用。
